集成式IGS
集成式IGS
各种集成式气体过滤器和压力传感器。
- FIX/SIX系列：它有各种各样的陶瓷元素类型（0.00015μm）和金属元素类型（0.0015μm），具有高过滤精度的良好声誉。
- FI/SI系列：各种集成式气体过滤器，高过滤精度和耐腐蚀性的陶瓷过滤器和全金属过滤器（过滤精度 0.003μm 推荐流量 几LPM～120LPM）
- PC系列：高精度、高耐腐蚀的各种集成式压力传感器，表压、绝对压力等都能满足宽幅度范围的测定（输出范围：0～100mV、0～50mV 、4～20mA、0～5V）
