PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

가스 필터

세라믹 가스 필터

높은 여과 정밀도・높은 내식성을 특징으로 하는 세라믹 필터로、가스 배관계통 내부의 파티클 제거가 높고、동시에 선택의 폭이 넓습니다。（200℃의 고온 베이킹을 가능하케 하고、H20농도를 5ppb이하로 저감)

  • PGFLX시리즈： Honeycomb구조 요소 여과 정밀도 0.0015μm　추천 유량 10～200L/min
  • UCHX시리즈： 여과 정밀도 0.0015μm　추천 유량15～250L/min
  • PGF시리즈： Honeycomb구조 요소 여과 정밀도 0.003μm　추천 유량 10～200L/min
  • PGFL시리즈： Honeycomb구조 요소 여과 정밀도 0.003μm　추천유량 20～400L/min
  • UCF시리즈： 듀브 형태 요소 여과 정밀도 0.01μm　추천유량 10～160L/min
  • SPC시리즈： 듀브 형태 요소 여과 정밀도 0.003μm　추천유량0L/min
  • UCH시리즈： 여과 정밀도 0.003μ　추천 유량 40～200L/min

메탈 가스 필터

요소를 포함 모든 재질에 SUS316L을 채용하여、컴팩트 설계・높은 여과 정밀도, 높은 내열성（460℃）을 실현한 ULSI 제조용 고성능 가스 필터입니다。

  • UCDX시리즈： Disc 형태 요소 여과 정밀도 0.0015μm　추천 유량 10～100L/min
  • UCSX-M시리즈： 튜브 형태 요소　여과 정밀도 0.0015μm　추천 유량 15～250L/min
  • UCD시리즈： Disc 형태 요소 여과 정밀도 0.003μm　추천 유량 10～100L/min
  • RGF시리즈： 튜브 형태 요소　여과 정밀도 0.1～10μm　추천 유량40～60L/min
  • UCS-M시리즈： 튜브 형태 요소 여과 정밀도 0.003μm　추천 유량15～250L/min

하스테로이 가스 필터

요소를 포함 모든 재질에 하스텔로이®를 채택하여、압력 손실이 매우 적고 컴팩트한 사이즈로 높은 유량의 가스 처리가 가능합니다。

  • UCHX-M시리즈： 여과 정밀도 0.0015μm　추천 유량15～250L/min
  • UCH-M시리즈： 여과 정밀도 0.003μm　추천 유량15～250L/min

PTFE가스 필터

요소에 ＰＴＦＥ막을 적용한 높은 내식성 인라인 가스 필터입니다。ＰＴＦＥ재질의 2층막으로 높은 여과 정밀도와 저압력 손실을 실현하여、사용 지점까지 가스의 순도를 떨어뜨리지 않고 제공 가능 합니다。

  • STFX시리즈： 여과 정밀도 0.0015μm　추천 유량 40～300L/min
  • STFX-3000시리즈： 여과 정밀도 0.0015μm　추천 유량 40～150L/min
  • TF시리즈： 여과 정밀도 0.01μm　추천 유량 40～300L/min
    ＊TF-4 시리즈는 2017년5월에 폐판 되었습니다。
  • STF시리즈： 여과 정밀도0.003μm　권장유량40～300L/min
    ＊STF-4 시리즈는 2017년5월에 폐판 되었습니다。
  • STF-3000시리즈： 여과 정밀도0.003μm　권장유량40～150L/min

통기용 필터